化學藥液供酸機台
製造半導體、玻璃基板、太陽能電池等在洗淨、蝕刻、去光阻、顯影等工程中需要使用到高純度化學品。此設備即是可維持化學品的高純度的同時安全供應給製造裝置。化學品通常由化學品製造商使用化學品容器運輸到製造工廠。經由泵送或氮氣驅送將化學品自容器,直接或經由儲存槽,並過濾去除粒子雜質,最後以輸送管供應給製造裝置。
完整的化學藥液供酸系統,通常由CCB,Storage tank,CDM,Day tank,VMB等機台依客戶的需求規劃組成。
完整的化學藥液供酸系統,通常由CCB,Storage tank,CDM,Day tank,VMB等機台依客戶的需求規劃組成。



