CNC非接觸式影像量測系統 MAX-90120
| 量測行程:X軸900mm
Y軸1200mm
調焦Z軸200mm
| 載物台承重:25KG
三次元座標量測儀 PMS-564C
| 量測行程:X軸500mm
Y軸600mm
Z軸400mm
| 量測精度:2.8+L/250um MPEE
| 探測誤差:2.8um MPEp
| 光學尺解析度:0.5um
| 載物台承重:600KG
三次元座標量測儀 PMS-121510C
| 量測精度:4+L/250um
| 探測誤差:4um MPMp